| 門型マシニングセンター | ： | 最大寸法＝5500✕3200✕500迄対応可 | 4台 |
| CNC精密平面研削盤 | １台 | ||
| 平面研磨機 | ： | 3000ｘ2000 | １台 |
| スライド式ポリシング | 3台 | ||
| 恒温恒湿室 | ： | 21700ｘ5450 23度±1℃ 50％±2％ | 1式 |
| 恒温恒湿室 | ： | 8000ｘ6000 23度±1℃ 50％±2％ | 1式 |
| Keysight (Agilent) レーザー測長システム | 1式 | ||
| 平面、真直精度測定器(MDS測定システム | 4式 | ||
| 直角測定器 | 1式 | ||
| 光電式オートコリメータ2型 | 1式 |
（加工）
（加工後）
（ラップ）
（平面度測定）
（真直度測定）
（研削加工）
（特殊加工）
（特殊加工）
