高精度・非接触で、ガラス基板を搬送できます。

平均気孔径40ミクロンの多孔質の採用により、反り・たわみを軽減できます。

部分吸着性能により、テーブルよりも小さいワークも吸着もできます。
平均気孔径2ミクロンの多孔質の採用で、ワークがフィルムや薄いガラスであっても反り・たわみが発生しません。

中央にθ軸を設ける事により、ワークを回転・吸着固定といった工程が、高精度に行えます。

ワークの切断加工を行っても、ワークがずれること無く、吸着固定を持続します。